Model

MRS402

MRS403

MRS405

Stage size（mm）

φ100

φ200

φ400

Gear ratio

90：1

180：1

180：1

Resolution

0.0002°

0.0002°

0.0005°

Resetting positioning accuracy

＜0.005°

Radial runout（μm）

＜30

Axial runout（μm）

＜30

Maximum speed

20°/s

20°/s

12.5°/s

Stepper motor（1.8°）

42 stepper motor

56 stepper motor

86 stepper motor

Loading capacity(kg)

70kg

100kg

300kg

Weight（kg）

9

18

80